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报告题目：基于MEMS工艺的NTC薄膜材料研究及热敏器件研制应用

报告人：孔雯雯研究员，中国科学院新疆理化技术研究所

时间：2026年1月15日（周四）上午10：30

地点：行政西前座210会议室（物理与材料科学学院）

摘要：物联网、智能制造和人工智能的快速发展对集成化传感系统提出了更高的测温要求，亟需突破高精度、微型化测温器件的材料与芯片技术瓶颈。报告人基于经典NTC材料技术储备，实现了晶圆级NTC薄膜材料的可控制备及性能高效筛选。基于当前MEMS工艺，开发出系列化高精度热敏器件，突破了微型热敏器件的探测灵敏度、稳定性等关键指标。研究成果可应用于高端装备、新能源、集成电路等领域，为提升我国智能传感器自主创新能力提供技术支撑。

报告人简介：孔雯雯，女，研究员/博导。国家重点研发计划“智能传感器专项”首席科学家、中国科学院特聘骨干，新疆热敏材料及元器件工程技术研究中心副主任、集成化智能传感器联合实验室常务副主任。2015年7月于中国科学院大学获工学博士学位，随后加入中国科学院新疆理化所工作至今；2019-2020年赴英国南安普顿大学学术访问交流，2021-2023年赴广东省佛山市南海区挂职科技镇长。围绕可控核聚变、集成电路、航空航天、新能源、光通信等领域对温度探测的明确需求，承担核工业西南物理研究院、航天五院、中国电子科技集团13所、华为海思、亿纬锂能等多家单位独家研发任务。主持国家重点研发计划项目、子课题、国家自然科学基金面上/青年项目、中国科学院重点部署项目等纵向项目13项，累计科研经费4000余万元。在ACS Applied Materials & Interfaces，IEEE Sensors J等期刊上发表SCI论文50余篇（一作/通讯身份38篇，JCR1区27篇）；24项发明专利获授权，其中6项已实现实质转化。荣获新疆科技进步一等奖、全国博士后创新创业大赛国家级铜奖等。